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SRM 2000 高分辨率 X 射線衍射標(biāo)準(zhǔn)品

簡要描述:SRM 2000 高分辨率 X 射線衍射(標(biāo)準(zhǔn)品) 為高分辨率 X 射線衍射 (HRXRD) 社區(qū)提供了國際單位制 (SI) [1] 可追溯的 Si (220) 透射間距、表面到晶面晶片我們的參考波長在反射中的誤切和表面到硅 (004) 布拉格角。

  • 英文名稱:Calibration Standard for High-Resolution X-Ray Diffraction
  • 產(chǎn)品型號:SRM 2000
  • CAS:
  • 產(chǎn)品規(guī)格:1 block
  • 純度:
  • 品牌:美國NIST
  • 訪  問  量:148

產(chǎn)品介紹

SRM 2000 高分辨率 X 射線衍射標(biāo)準(zhǔn)品 為高分辨率 X 射線衍射 (HRXRD) 社區(qū)提供了國際單位制 (SI) [1] 可追溯的 Si (220) 透射間距、表面到晶面晶片我們的參考波長在反射中的誤切和表面到硅 (004) 布拉格角。 SRM 2000 的一個單元由 25 mm × 25 mm × 0.725 mm 雙拋光 (100) 取向的單晶硅樣品組成,具有標(biāo)稱 50 nm Si0.85Ge0.15 外延層和 25 nm 硅帽。

這些認(rèn)證值可用于校準(zhǔn) HRXRD 儀器。



搬運(yùn)、儲存和使用說明儲存和搬運(yùn):

外延層可能損壞或晶片機(jī)械應(yīng)變;因此應(yīng)避免與SRM 2000 高分辨率 X 射線衍射標(biāo)準(zhǔn)品 的前表面接觸。要去除表面污染物,請使用過濾后的氮?dú)?。峰輪廓:測量的衍射峰明顯不對稱。支持性測量表明,這種不對稱性可能不完全是由于儀器效應(yīng)造成的,但部分是由于SRM 2000原料的特性造成的。因此,使用分裂Pearson VII輪廓來擬合和估計(jì)峰值位置,并建議用于確定校準(zhǔn)的峰值位置。由于不對稱性對輪廓位置確定的不同影響,使用另一個輪廓函數(shù)可能會導(dǎo)致系統(tǒng)內(nèi)偏差。

使用

建議使用Si(220)傳輸中測量的d-間距:直接使用經(jīng)過認(rèn)證的d-間距進(jìn)行校準(zhǔn),dSRM需要一個可以測量傳輸幾何形狀的儀器。如果可能的話,可以校準(zhǔn)儀器單色器的波長λinst或Si(220)反射附近的角度測量值Δθinst。


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